TE-Konverter in Dünnschichttechnologie

Dünnschichttechnik

Thermoelektrische Bauteile werden traditionell aus Massivmaterialien hergestellt. Seit einigen Jahren gibt es Ansätze, TE-Bauteile in Dünnschichttechnologie herzustellen. Fraunhofer IPM hat im Projekt Micropelt gemeinsam mit der Infineon AG das erste waferbasierte Produktionsverfahren für thermoelektrische Konverter in Dünnschichttechnologie und Mikrostrukturtechnik entwickelt. Solche Konverter zeichnen sich durch extrem hohe Leistungsdichten aus. Ihre verbesserte Dynamik ermöglicht punktgenaues, schnelles Kühlen. Dank Mikrostrukturtechnik ist die Nutzung sehr geringer Temperaturgefälle für energieautarke Systeme – z. B. Sensoren oder Aktuatoren – möglich.