Laserinduzierte Plasmaspektroskopie

Bei der laserinduzierte Plasmaspektroskopie (Laser Induced Breakdown Spectroscopy, LIBS) wird mithilfe eines Kurzpuls- oder Ultrakurzpuls-Lasers ein winziger Teil des zu untersuchenden Materials in ein Plasma überführt und spektral analysiert. So lässt sich die Materialzusammensetzung in Echtzeit und ohne Probenpräparation analysieren. Das LIBS-Verfahren kann sowohl zur Legierungsbestimmung und Beschichtungsprüfung als auch zur Schichtdickenmessung im Bereich von Nanometern bis 100 Mikrometern eingesetzt werden. Auch die tiefenaufgelöste Messung der Elementzusammensetzung ist möglich.

Vorteile

• Kontaktlos, rein optisch
• Messzeit im Bereich von Millisekunden
• Inline
• Keine Probenvorbereitung
• Hohe Ortsauflösung
• Unabhängig von der Bauteilgeometrie

Anwendungen

• Bildgebende Schichtdickenmessung (galvanisch, CVD, PVD)
• Materialanalyse in Metallindustrie und Bergbau (Gesteinszusammensetzung, Metalllegierungen, Recycling)
• Inline-Messung in der Batteriefertigung