Laserinduzierte Plasmaspektroskopie

Bei der laserinduzierte Plasmaspektroskopie (Laser Induced Breakdown Spectroscopy, LIBS) wird mithilfe eines Kurzpuls- oder Ultrakurzpuls-Lasers ein winziger Teil des zu untersuchenden Materials in ein Plasma überführt und spektral analysiert. So lässt sich die Materialzusammensetzung in Echtzeit und ohne Probenpräparation analysieren. Das LIBS-Verfahren kann sowohl zur Legierungsbestimmung und Beschichtungsprüfung als auch zur Schichtdickenmessung im Bereich von Nanometern bis 100 Mikrometern eingesetzt werden. Auch die tiefenaufgelöste Messung der Elementzusammensetzung ist möglich.

Vorteile

  • Kontaktlos, rein optisch
  • Messzeit im Bereich von Millisekunden
  • Inline
  • Keine Probenvorbereitung
  • Hohe Ortsauflösung
  • Unabhängig von der Bauteilgeometrie

Anwendungen

  • Bildgebende Schichtdickenmessung (galvanisch, CVD, PVD)
  • Materialanalyse in Metallindustrie und Bergbau (Gesteinszusammensetzung, Metalllegierungen, Recycling)
  • Inline-Messung in der Batteriefertigung

Anwendungen »LIBS«

Schichtdickenmessung

Bildgebende Erfassung von Beschichtungen: galvanisch, CVD, PVD

 

Materialanalyse

Materialanalyse in der Metallindustrie und im Bergbau: Gesteinszusammensetzung, Metalllegierungen, Recycling

Inline-Messung

Messung der Homogenität von Elektrodenfolien in der Batteriefertigung

Weitere Informationen

 

Presseinformation / 5.7.2022

Elektroden für Li-Ionen-Batterien effizienter produzieren

Ein optisches Inline-Messsystem entwickelt, das die Materialzusammensetzung von Elektrodenfolien quantitativ und tiefenaufgelöst bestimmt – direkt in der Fertigungslinie.