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Erstklassige Infrastruktur#

Reinraum nach ISO 5 und chemische Labore zum Beschichten und Strukturieren von Materialien.

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Flexible Sensoren

Design und Simulation#

Aus CAD-Layout und FEM-Simulationen entstehen MEMS und MOEMS.

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Substratvorbereitung und -reinigung#

Plasma-Anlage PVA TePla GIGAbatch 310M zum Entfernen organischer Substanzen.

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Mask Aligner

Strukturierung#

Belichter EVG 6200 u.a. für Nano-Imprint-Lithography.

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Belacker mit GYRSET-Technologie

Photolithographie#

Spincoater SÜSS Delta80 Gyrset mit mitdrehender Atmosphäre.

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Sputeranlage zur Waferbeschichtung

Beschichtungsanlagen#

Co-Sputteranlage FHR MS 150 x 4 mit einer Substratheizung bis 400°C.

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Kryo Trockenätzanlage

Trockenätzanlage#

Sentech ICP-RIE SI500 zur Tiefenstrukturierung von Materialien mit hohem Aspektverhältnis.

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Aufbau- und Verbindungstechnik#

Hochpräzise Wafersäge Disco DAD 3230.

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Profilometer zur Schichtdickenbestimmung

Struktur- und Materialanalyse#

Profilometer Veeco Dektak 6m mit Auflösung im Nanometerbereich.

Chemische Labore | Reinraum

Fraunhofer IPM verfügt über einen 400 m2 großen Reinraum bis Klasse 100 / ISO 5 und 60 m² chemische Labore mit erstklassiger Ausstattung. Hier modellieren, beschichten und strukturieren wir Materialien – von der Entwicklung bis zur Prototypenfertigung. Ausgehend von Ihren Vorgaben beraten wir Sie auf Basis unserer langjährigen Erfahrung. Mit unseren Verfahren decken wir nahezu das gesamte Spektrum der Mikrosystemtechnik ab:

  • Design und Simulation
  • Substratvorbereitung / -reinigung
  • Strukturierung
  • Beschichtung / Diffusion
  • Aufbau- und Verbindungstechnik
  • Struktur- und Materialanalyse

Der Umgang mit unterschiedlichsten Materialien  – als Substrat und funktionale Beschichtung – gehört zur täglichen Routine unserer Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter. Als Substrat kommen flexible Folien, Keramik, Glas, Silizium oder spezielle optische Materialien zum Einsatz – mit unterschiedlicher Geometrie und Größe, sei es kreisförmig, rechteckig, als Bruchstück oder 6-Zoll-Wafer.

Nutzen Sie unsere Laborausstattung und unser Know-how aus Wissenschaft und täglicher Forschungspraxis. Sprechen Sie uns an – wir freuen uns auf eine Zusammenarbeit!