Lichtquellen für optische Gassensoren

Wir entwickeln miniaturisierte Komponenten wie zum Beispiel modulierbare Infrarot-Strahler oder Detektoren mit Verfahren der Mikrosystemtechnik.

Infrarot-Strahler

Die Absorptionsspektroskopie gehört zu den Standardmessverfahren für die Analyse von Gasen und Flüssigkeiten. Besonders im mittleren Infrarot (MIR) mit Wellenlängen von 3−20 μm zeigen viele Gase und Flüssigkeiten starke und molekülspezifische Absorptionsstrukturen. Dies gilt insbesondere für den sogenannten »Fingerprint-Bereich« mit Wellenlängen von 8 bis 12 μm.

IR-Emitter und -Detektoren in Mikrosystemtechnik

Entscheidend für die Nachweisempfindlichkeit eines optischen Gassensors ist die Leistungsfähigkeit der eingesetzten Lichtquelle. Für bestimmte Anwendungen entwickelt und fertigt Fraunhofer IPM miniaturisierte Systemkomponenten in Mikrosystemtechnik als MEMS (»Micro-Electro-Mechanical Systems«) bzw. MOEMS (»Micro-Optoelectro-Mechanical Systems«). Darunter sind modulierbare Strahler für das mittlere Infrarot in Dünn- und Dickschichttechnologie. Spezifisches Material-Know-how und eine hervorragende Infrastruktur ermöglichen uns, auch schnelle Detektoren z. B. für das mittlere IR zu entwickeln.