Elementanalyse von Beschichtungen und Schichtdickenmessung mithilfe von LIBS
Die Qualitätsanforderungen an die Beschichtungsqualität vieler industriell gefertigter Bauteile steigen stetig, denn fehlerhaft applizierte oder inhomogene Beschichtungen können die Funktion von Bauteilen beeinträchtigen. Messsysteme, die Schichtdicken und Schichtqualität im Prozess präzise messen und je nach Bedarf als Regelgröße ausgeben, sind daher von großem Nutzen für die Industrie.
Fraunhofer IPM entwickelt Inline-Messsysteme für die Analyse der elementaren Zusammensetzung von Metallen und funktionellen Beschichtungen. Die Systeme basieren auf laserinduzierter Plasmaspektroskopie (Laser Induced Breakdown Spectroscopy, LIBS) und bestimmen die elementare Zusammensetzung und Homogenität von Oberflächenbeschichtungen mithilfe von Kurzpulslasern –zuverlässig, präzise und innerhalb von Millisekunden. Je nach Bedarf prüfen die Messsysteme Bauteile stichprobenartig im Labor oder messen in der Produktionslinie, um z. B: Beschichtungs-, Ätz oder Laserbearbeitungsprozesse gezielt zu regeln.
