Halbleiter-Gassensoren

Klein, energiesparend und kostengünstig

Halbleiter-Gassensoren (auch: Metalloxidsensoren, MOX) sind elektrische Leitfähigkeitssensoren. Der Widerstand ihrer sensorisch aktiven Schicht ändert sich beim Kontakt mit dem zu detektierenden Gas. MOX-Gassensoren reagieren auf fast alle reduzierenden und oxidierenden Gase und ermöglichen somit nicht nur die Detektion von Spurengasen wie Kohlenmonoxid (CO), Stickoxiden (NO_x), Ammoniak (NH₃), schwefelhaltigen Gasen (H₂S, SO₂), Kohlenwasserstoffen (C_xH_y), sondern auch die Analyse komplexer Aromen wie flüchtige organische Verbindungen (VOC). Eine hohe Selektivität wird durch eine geeignete chemische Beschichtung erreicht. Je nach Material und Zielgas sind Betriebstemperaturen zwischen 300 °C und 900 °C notwendig, um die Eigenleitfähigkeit des Sensors zu gewährleisten. Die Sensitivität ist gasabhängig und reicht von wenigen ppb bis in den Prozentbereich. Die Nachweisgrenze ist abhängig vom gassensitiven Material.

Unser Leistungsangebot

• Entwicklung kunden- bzw. anwendungsspezifischer Materialien
• Entwicklung kundenspezifischer Substrate und Sensorgeometrien
• Materialentwicklung für die Beschichtung per Druckverfahren (Siebdruck, Inkjet)
• Gasabhängige Charakterisierung der Sensoren, Benchmark-Tests
• Erstellung eines Produktionskonzepts
• Technologische Beratung