Präzise Temperaturmessungen mit Thermopiles

Mikrostrukturierte Thermopile-Sensoren auf Basis von Wismuttellurid erlauben hochgenaue Temperaturdifferenzmessungen.

Thermopile-Sensorik

Materialien auf Basis von Wismuttellurid sind die bei Raumtemperatur effektivsten Thermoelektrika und damit geeignet für präzise Temperaturdifferenzmessungen. Die Hintereinanderschaltung mehrerer Thermoelemente zu Thermopiles steigert die Empfindlichkeit noch weiter. Das ist interessant für viele Anwendungen, wie zum Beispiel thermische Strahlungsdetektoren, Kalorimeterstrukturen oder Wärmeflussensoren.

Fraunhofer IPM entwickelt Prozesse für die Abscheidung und Mikrostrukturierung dieser hocheffizienten Thermoelektrika. So entstand beispielsweise ein Kalorimeter-Chip, der als Reaktionskalorimeter oder als dynamisches Differenzkalorimeter kleinste Analytmengen vermessen kann.